Sondowanie płytek

Zadania

W wielu przypadkach należy również przetestować obwody optyczne ułożone na płytce SiPh (Silicon Photonics). W tym celu do transportu płytki stosuje się centralnie umieszczony stół XY. Chociaż w wielu przypadkach narzędzie testowe ma również kilka stopni swobody, nie jest w stanie pokryć całej powierzchni płytki.

Rozwiązanie

Wykorzystywany jest system XY (dostosowany do potrzeb klienta), wokół którego można ustawić kilka stacji testowych w celu zwiększenia przepustowości. Zgrubne pozycjonowanie jest wykonywane przez stół XY, natomiast dokładne pozycjonowanie jest wykonywane w kilku systemach osiowania 6DoF.

Korzyści

• Standardowe osie do zadań modułu podającego
• Indywidualne rozwiązania we wszystkich klasach dokładności
• Opracowanie i produkcja stołu XY z kompletną podstawą
• Zintegrowany system pomiarowy o wysokiej rozdzielczości zapewnia wysoką stabilność pozycji, z wahaniami rzędu kilku nanometrów