精度达到μ级别

任务

在显微技术中，人们不再需要检查标本，但在使用成像技术完成检查时，需要越来越多的自动化解决方案。在该技术中，通过物镜采样，并使用人工智能技术（AI）分析得到的图像。使用该技术，可以显著提高工作效率。

解决方案

在许多情况下，由于待检样品大于物镜的成像区域，就需要具有透射光的XY系统。对样品表面进行逐片扫描，然后对各个图像进行数字重组(拼接)，或者以连续移动的方式拍摄图像，例如使用线阵相机(曲折扫描)。对于拼接而言，记录过程中的位置稳定性很重要；对于曲折扫描而言，则务必要保证：移动速度尽可能恒定，跟踪误差尽可能小。需要使用MK十字工作台。