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마이크로 범위내의 정밀도

작업

현미경 검사에서는 더이상 인간이 견본을 검사하지 않고 모든 것이 이미지기법으로 수행되므로 점점 더 많은 자동화 솔루션이 필요합니다. 여기서 샘플은 대물 렌즈를 통해 채취되고 결과 이미지는 AI를 이용해 분석합니다. 여기에서 처리량은 현저히 증가될수 있습니다.

솔루션

많은 경우에 검사할 샘플이 대물렌즈의 이미지 구역보다 크기 때문에 투과광선이 장착된 XY 시스템이 필요합니다. 샘플의 표면은 조각 별로 스캔되고 개별 이미지는 디지털 방식으로 재조립(촘촘히 조립)되거나 라인스캔카메라를 사용하여 이미지가 지속적으로으로 움직이며 촬영됩니다. 찍힌다. 예를 들어 라인 스캔 카메라(사행 스캔)로 하는 것을 말합니다. 촘촘히 재구성하는데에 스티칭 작업시 중요한 것은 녹화 중 위치의 안정성입니다. 사행 스캔의 경우에 있어서 이동이 최대한 일정하게 유지되어야 하고 트래킹 오류를 최대한 적게 하는 것은 매우 주요하며 이에. 크로스테이블 MK시리즈가 사용됩니다.