Test dei wafer

Compiti

In molti casi devono essere testati anche i circuiti ottici disposti sul wafer SiPh (Silicon Photonics). A questo scopo, per trasportare il wafer, viene utilizzata una tavola XY disposta centralmente. Sebbene, in molti casi, lo strumento di prova abbia anche diversi gradi di libertà, non è in grado di coprire l'intera superficie del wafer.

Soluzione

Viene utilizzato un sistema XY specifico per il cliente attorno al quale possono essere disposte diverse stazioni di prova per aumentare la produttività. Il posizionamento grossolano è eseguito dalla tavola XY, il posizionamento fine è eseguito su vari sistemi di allineamento 6DoF.

Vantaggi

• Assi standard per compiti di Pick&Place
• Soluzioni personalizzate in tutte le classi di precisione
• Sviluppo e produzione della tavola XY con la base completa
• Il sistema di misurazione integrato ad alta risoluzione permette una stabilità elevata in posizione, con una fluttuazione di pochi nm