Teste bolacha de semi condutores de silício
Tarefas
Os circuitos ópticos arranjados no wafer SiPh (Fotônicos de silício) também devem ser testados em muitos casos. Para este propósito uma mesa XY arranjada centralmente é usada para transportar a bolacha de semi condutores. Embora a ferramenta de teste também tenha vários graus de liberdade em muitos casos, não é capaz de cobrir a superfície da bolacha de semi condutores completa.
Solução
Um sistema XY específico de cliente é usado em torno do qual várias estações de teste podem ser arranjadas para aumentar a produção O posicionamento aproximado é feito pela mesa XY e o posicionamento exato é feito em vários sistemas de alinhamento 6DoF.
Benefícios
- Eixos padrões para tarefas Pick&Place
- Soluções personalizadas em todas as classes de precisão
- Desenvolvimento e produção da mesa XY com a base completa
- O sistema de medição de alta resolução integrado permite uma alta estabilidade na posição, com uma flutuação de alguns nm
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