Grau de precisão da bolacha de semi condutores

Tarefa

No processo de produção geral, a embalagem geralmente assume apenas após a separação em chips/matrizes individuais. Para simplificar o processo de produção dos chips que são tão pequenos quanto possível, muitos processos ainda ocorrem na bolacha de semi condutores.

Solução

Para permitir que processos ocorram na bolacha de semi condutores um sistema de movimento preciso com viagens correspondentes ao tamanho da bolacha de semi condutores é necessário Uma solução semi-padrão baseada em um sistema de granito modular é usada, que é escalável nas vias transversais.. 

Benefícios 

• A estrutura de granito habilita a precisão de processo mais alta assim como a rigidez e amortecimento, necessários para as grandes massas em movimento
• Adaptação específica de cliente simples para todas as condições 
• Controlador industrial com barramento de campo padronizado (por ex.: EtherCat, Profinet, ...)
• Fácil integração ao ambiente da máquina e tempo de comissionamento reduzido 
• Sala limpa possível