Sondage de plaquette

Tâches

Les circuits optiques disposés sur la plaquette SiPh (Silicon Photonics) doivent également être testés dans de nombreux cas. À cette fin, une table XY disposée au centre est utilisée pour transporter la plaquette. Même si l'outil d’essai dispose également de plusieurs degrés de liberté dans de nombreux cas, il n'est pas en mesure de couvrir toute la surface de la plaquette.

Solution

Un système XY spécifique au client est utilisé autour duquel, plusieurs postes d’essai peuvent être disposés pour augmenter la cadence de production. Un positionnement approximatif est effectué par la table XY, le bon positionnement est effectué dans plusieurs systèmes d'alignement 6DoF.

Avantages

  • Axes standard pour les tâches Pick&Place
  • Solutions personnalisées dans toutes les classes de précision
  • Conception et production de la table XY avec base complète
  • Le système de mesure haute résolution intégré permet d’obtenir une grande stabilité en position, avec une instabilité de quelques nm
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