Wafer Probing
Aufgabe
Die auf dem SiPh (Silicon Photonics) Wafer angeordneten optischen Schaltkreise müssen in vielen Fällen auch getestet werden. Zu diesem Zweck wird ein zentral angeordneter XY-Tisch verwendet, der den Wafer transportiert. Das Test-Tool verfügt zwar in vielen Fällen auch über mehrere Freiheitsgrade, ist aber nicht in der Lage, die komplette Waferfläche abzudecken.
Unsere Lösung
Zum Einsatz kommt ein kundenspezifisches XY-Systeme, um das mehrere Teststationen angeordnet werden können, um den Durchsatz zu erhöhen. Die Grobpositionierung erfolgt durch den XY-Tisch, die Feinpositionierung in mehreren 6DoF Ausrichtsystemen.
Vorteile
- Standardachsen für Pick&Place Aufgaben
- kundenspezifische Lösungen in allen Genauigkeitsklassen
- Entwicklung und Produktion des XY-Tisch mit dem kompletten Unterbau
- Das integrierte hochauflösende Messsystem ermöglicht eine hohe Stabilität in der Position, mit einem Jitter von wenigen nm