Wafeltjesonde

Taken

De optische circuits aangebracht op de SiPh (Silicon Photonics) wafer moeten in veel gevallen ook worden getest. Daartoe wordt een centraal opgestelde XY-tafel gebruikt om de wafer te transporteren. Hoewel het testapparaat in veel gevallen ook meerdere vrijheidsgraden heeft, is het niet in staat om het volledige wafeloppervlak te bedekken.

Oplossing

Een klantspecifiek XY-systeem wordt gebruikt waarrond meerdere teststations kunnen worden ingericht om de doorvoer te verhogen. Onbewerkte positionering wordt gedaan door de XY-tafel, bewerkte positionering wordt uitgevoerd in verschillende 6DoF-uitlijningssystemen.

Voordelen

• Standaardassen voor Pick & Place-taken
• Oplossingen op maat in alle nauwkeurigheidsklassen
• Ontwikkeling en productie van de XY-tafel met het complete onderstel
• THet geïntegreerde meetsysteem met hoge resolutie zorgt voor een hoge positiestabiliteit, met een jitter van enkele nm