웨이퍼 프로빙탐침

작업

SiPh(실리콘 포토닉스) 웨이퍼에 배열된 광학 회로는 반드시 여러 경우에서 검사되어야 합니다. 이를 위해 중심으로 배열된 XY 테이블은 웨이퍼를 이송하는데 사용됩니다. 테스트 도구는 많은 경우에 여러 자유도를 가지고 있지만 전체 웨이퍼 표면을 완전히 커버하는것은 불가능합니다.

솔루션

처리량을 높이기 위해 여러 검사 스테이션이 배치될 수 있는 고객 맞춤형 XY 시스템이 사용됩니다. XY 테이블에 의해 대략적인 위치가 선정되고 완전한 포지셔닝은 여러 6DoF 정렬 시스템에 의해 진행됩니다.

장점

• 픽앤플레이스 작업용 기본 축
• 모든 정밀 등급에서의 고객맞춤형 솔루션
• 완전한 베이스가 포함된 XY 테이블의 개발 및 제작
• 내장된 고분해능 측정 시스템은 몇 nm의 단위로 높은 위치 안정성을 가능하게 합니다