Sondeo de obleas

Trabajos

En muchos casos, los circuitos ópticos acomodados en la oblea SiPh (Fotónica de silicio) deben también ser probados. Para este fin se usa una mesa-XY acomodada centralmente para transportar la oblea. Aunque la herramienta de prueba también cuenta con varios grados de libertad en muchos casos, no puede cubrir la superficie entera de la oblea.

Solución

Se usa un sistema XY específico para el cliente alrededor de la cual se pueden acomodar varias estaciones de prueba para incrementar la producción. El posicionamiento aproximado se realiza mediante una mesa XY, el posicionamiento fino se realiza en varios sistemas de alineación 6DoF.

Beneficios

  • Ejes estándar para tareas Pick&Place
  • Soluciones a medida en todas las clases de precisión
  • Desarrollo y producción de la mesa-XY con la base completa
  • El sistema de medición integrado de alta resolución permite una alta estabilidad en su posición, con una fluctuación de algunos nm
Fotónica

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