Inspección de oblea

Trabajos

Después de la producción, se revisan los troqueles en las obleas mediante inspección óptica. Aquí se examina la estructura mediante procesos de imagen con alta resolución. Para examinar la superficie completa de la oblea, se realizan típicamente escaneos de serpenteo con un sistema XY.

Solución

Se usan sistemas XY, los cuales están configurados de acuerdo con las especificaciones del cliente. Dependiendo de la aplicación, se adaptan tanto las clases de precisión de la guía lineal como la resolución del sistema de medición. Por lo tanto, se puede realizar una macro inspección (buscar defectos en la oblea) así como una micro inspección (examinación detallada por defectos con la más alta resolución) con una solución asequible. 

Beneficios

• Ajustes de precisión con el mismo espacio de instalación
• Fácil integración con el concepto de máquina modular del cliente 
• Tiempo Step&Settle más rápido
• Velocidad constante para movimientos de escaneo