Wafer Probing

Aufgabe 

Die auf dem SiPh (Silicon Photonics) Wafer angeordneten optischen Schaltkreise müssen in vielen Fällen auch getestet werden. Zu diesem Zweck wird ein zentral angeordneter XY-Tisch verwendet, der den Wafer transportiert. Das Test-Tool verfügt zwar in vielen Fällen auch über mehrere Freiheitsgrade, ist aber nicht in der Lage, die komplette Waferfläche abzudecken. 

Unsere Lösung

Zum Einsatz kommt ein kundenspezifisches XY-Systeme, um das mehrere Teststationen angeordnet werden können, um den Durchsatz  zu erhöhen. Die Grobpositionierung erfolgt durch den XY-Tisch, die Feinpositionierung in mehreren 6DoF Ausrichtsystemen. 

Vorteile

• Standardachsen für Pick&Place Aufgaben
• kundenspezifische Lösungen in allen Genauigkeitsklassen
• Entwicklung und Produktion des XY-Tisch mit dem kompletten Unterbau
• Das integrierte hochauflösende Messsystem ermöglicht eine hohe Stabilität in der Position, mit einem Jitter von wenigen nm